半導(dǎo)體廢氣處理-過(guò)濾沸石轉(zhuǎn)輪RTO

采用“過(guò)濾+沸石轉(zhuǎn)輪+RTO”工藝處理后通過(guò)排氣筒達(dá)標(biāo)排放。本企業(yè)對(duì)現(xiàn)有FAB3有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行升級(jí)改造，利用已有收集管路系統(tǒng)將有機(jī)廢氣送至新增的1套過(guò)濾+沸石轉(zhuǎn)輪處理系統(tǒng)中（XF3-8），經(jīng)沸石轉(zhuǎn)輪后產(chǎn)生的高濃度濃縮氣送至已建成的RTO處理設(shè)施（XF12-11）中進(jìn)一步處理，經(jīng)沸石轉(zhuǎn)輪后產(chǎn)生的低濃度潔凈氣通過(guò)新增排氣筒（F3-8）排放，排氣筒高度為35m，設(shè)計(jì)風(fēng)量50000Nm3/h。同時(shí)進(jìn)行VOCs在線監(jiān)測(cè)站房的配置。

在現(xiàn)有場(chǎng)地條件下，已建成1套設(shè)計(jì)風(fēng)量9700Nm3/h的RTO處理設(shè)施，包含了本期經(jīng)沸石轉(zhuǎn)輪后產(chǎn)生的高濃度濃縮氣的處理能力，故本期不再單獨(dú)建設(shè)。

過(guò)濾